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Cámaras de Ultra Alto Vacío

INVAP diseñó y construyó varias Cámaras de Ultra Alto Vacío para uso científico. La siguiente descripción corresponde a una de ellas, hecha para para deposición ablativa por láser pulsado, con destino a la Universidad del Estado de Carolina del Norte, EEUU.

Vista frontal y superior de la Cámara de Ultra Alto Vacío

Esta cámara ayudó a los investigadores del Estado de Carolina del Norte a obtener películas delgadas ferroeléctricas de alta temperatura, logro de avanzada que arrojó un tipo de película utilizado en gran medida en las primeras “tarjetas inteligentes”, producto comercial sobre la base de memorias ferroeléctricas.

La cámara fue construida en acero AISI 304 y tiene 40 cm. de diámetro y 60 cm. de altura. Se emplearon en su construcción 15 bridas de tipo Conflat, algunas de ellas soldadas apuntando a un centro en común.

Todas las soldaduras TIG se llevaron a cabo desde el interior de la cámara, con énfasis en la limpieza de las superficies durante todo el proceso. Dichas superficies fueron finalmente pulidas electromecánicamente, y alcanzaron una precisión superior a los 0,05 micrones.